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摘 要:采用铜基微同轴制造工艺,并结合微波滤波器设计理论,研发并制造了一款交指结构的微波滤波器。滤波器通带范围为28~31 GHz,端口阻抗为50 Ω,输入输出结构采用GSG形式,便于与其他器件键合连接。为满足良好的电性能要求并确保物理结构稳定,器件内采用介质片支撑谐振器,全铜形式的整体结构具有损耗低、散热好、屏蔽性能好等优势。(剩余8793字)
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基于铜基微同轴工艺的交指滤波器设计
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