基于改进YOLOv5算法的晶圆表面缺陷检测方法

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［摘 要］ 为了兼顾实时性和准确率，提出了一种基于改进YOLOv5算法的晶圆表面缺陷检测方法。该方法采用了轻量级网络GhostNet作为主干提取网络，以降低模型复杂度并提升检测速度。同时为了提高模型的特征提取能力和检测精度，引入了高效通道注意力机制。此外采用FReLU激活函数取代了原有的SiLU函数，以增强模型对空间的敏感性，提高检测准确性。（剩余14026字）

试读结束

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