钌表面上锡及其氧化污染物的原位清洗研究

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摘 要： 本文介绍了在多层反射镜钌表面原位清洗锡及其氧化污染物的实验研究. 实验通过物理气相沉积（PVD）方法制备颗粒状和薄膜状锡及其氧化污染物，并采用朗缪尔探针和减速场离子能量分析仪（RFEA）对不同功率的氢等离子体进行了系统分析. 对比颗粒状和薄膜状锡及其氧化污染物的清洗速率后发现，颗粒状污染物（剩余2222字）

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