基于Fano共振的全介质型超表面甲烷传感器设计

打开文本图片集

摘要：与传统甲烷传感器相比，超表面甲烷传感器具有高度灵敏、性能稳定、小型化、集成化、多功能可定制等优点，更满足在煤矿等复杂环境下的应用需求。设计了基于 Fano共振的全介质型超表面甲烷传感器。超表面结构由周期性的硅纳米结构和 SiO2衬底组成，包含4个方形硅环纳米结构及中心的硅纳米方块。通过改变几何参数观察其对全介质超表面结构 Fano共振的影响，结果表明，综合考虑结构的品质因数和调制深度，应选取方形硅环中心距离为1000 nm，方形硅环的内边长为100 nm，硅纳米块的边长为200 nm，此时品质因数为227.60，调制深度为99.98%，接近100%。（剩余13222字）