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中图分类号:TB9;TH711;TB921 文献标志码:A文章编号:1674-5124(2025)10-0018-09
0引言
光学测量技术是非接触式测量技术中重要的组成部分,是先进制造业中必不可少的一环,避免了仪器与被测物直接接触产生的问题[1]。彩色光谱共焦位移测量技术,利用了轴向色散成像的特点,相比于激光共聚焦法,不需要轴向的机械扫描,测量速度更快,精度也极高。(剩余9923字)
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基于多通道光谱分析仪的光谱共焦位移测量方法
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