热-结构耦合作用下压电式力传感器热应力分析

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摘要：针对极端环境下高温传感器的可靠性受限于热应力，导致传感器零漂和温漂甚至失效的问题，提出了一种基于热-结构耦合的高温压电式力传感器热应力计算方法及其有限元模型。基于平衡方程和热-弹性理论，建立了传感器热弹性力学物理方程，分析了封装材料和温度对压电式力传感器热应力的影响规律。通过分析高温环境下压电式力传感器的热应力分布，确定传感器应力集中位置。（剩余18775字）

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