自吸式电化学检测仪的研制与应用

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【摘 要】为了满足半导体行业制造过程中对NH3、HCl、C8H20O4Si、SiH4等电子特种气体泄漏检测的需要，设计了一种基于电化学传感器的固定式气体检测仪。从硬件与软件两个方面详细描述了该仪器的功能和特点。在半导体车间对仪器进行了SiH4、NH3、C8H20O4Si标气检测，结果显示SiH4传感器示值误差小于 1%，重复性标准偏差小于1%;C8H20O4Si示值误差小于1%，重复性标准偏差小于1%;NH3示值误差小于 1.5% ，重复性标准偏差小于1%。（剩余5537字）

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