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摘 要：本文探讨了氩气等离子处理对TiOx薄膜阻变性能的影响，并根据阻变性能的变化，提出了改变等离子处理条件来优化阻变性能的思路。实验显示，随着等离子处理范围的增大，阻变forming-free特征出现的可能性在增大。而处理功率增长的影响主要体现在阻变层中氧空位含量的增加（XPS测定）和等离子处理电流的增大，但在面积较小试样中则逐渐趋于饱和。（剩余7805字）
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TiOx薄膜阻变特性的氩等离子处理影响探讨
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