遮光罩关键表面微形貌建模及仿真

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摘 要：针对星敏感器在轨运行时面临的杂散光干扰问题，采用激光共聚焦显微镜对遮光罩挡光环刃口的微形貌进行了精确测量，并构建了完整的测量及数据处理流程。在此基础上，采用了基于梯形拟合和圆弧拟合的两种建模方法表征遮光罩挡光环刃口的形貌。利用光学仿真软件TracePro对不同建模方法构建的挡光环模型进行了杂散光抑制效果的仿真分析，结果表明，圆弧刃口在杂散光抑制方面优于梯形刃口，其抑制效果在不同入射角下平均提高了约69%。（剩余3306字）

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