考虑端部效应的动子无源型Halbach磁悬浮永磁直线电机电磁力分析

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摘  要：

针对光刻机等高精确度定位平台无摩擦、无接触、无噪声需求，提出一种采用动子无源型平移和悬浮一体化Halbach磁悬浮永磁直线电机以实现定位平台的无摩擦悬浮及长距离定位运动。为了精确分析该类电机的悬浮力和推力特性，提出一种考虑动子永磁体端部效应的电机磁场解析模型并采用傅里叶分解法得到Halbach阵列永磁体磁场解析式。（剩余15252字）

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