共面式MEMS气体传感器微热板设计与仿真

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摘 要：【目的】常见膜式结构和悬浮式结构的MEMS气体传感器在垂直方向上存在寄生电场，会对气体传感器的检测信号造成一定影响。为了降低寄生电场对气体传感器性能的影响，提出了一种共面结构的MEMS气体传感器，并对其微热板进行了建模仿真及优化。【方法】利用SolidWorks对共面式MEMS气体传感器进行建模，并通过有限元分析方法从热稳定性、机械稳定性等方面对微热板进行了仿真。（剩余9445字）

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