光纤法珀压力传感用HTCC膜片制造工艺优化及测试

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摘 要：针对高温环境下传感器膜片的制造需求，提出了一种基于氧化铝高温共烧陶瓷（HTCC）材料的膜片精密制造工艺。通过材料性能分析与工艺优化，确定了流延成型、层叠冲腔、温等静压与高温烧结等核心工艺参数，解决了传统HTCC膜片表面粗糙度高、反射性能差等问题。结合研磨抛光与激光加工技术，制备出直径2.51 mm，高度0.60 mm，高平整度、高反射率的HTCC膜片。（剩余12884字）

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