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关键词:电主轴;微结构;精密加工;集成设计;力感知
中图分类号:TH122 文献标识码:A
doi:10.37188/OPE.20253310.1594 CSTR:32169.14.OPE.20253310.1594
Integrated design and force sensing chara(剩余18156字)
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面向电主轴的微结构精密加工机构集成设计及力感知特性
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