乙酸改性γ-Al2O3高效去除痕量PCl3的研究

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摘要：在多晶硅生产过程中，为了不影响产品性能，必须将杂质PCl3的含量降低到ppb的水平，然而，这目前仍旧是一个巨大的挑战。本研究提出了一种可高效去除痕量PC13的方法，即利用乙酸改性γ-Al2O3作为吸附剂，其可去除ppb级别的PC13，去除率高达84.2%。Boehm滴定实验表明，改性后的γ-Al2O3表面羧基含量大幅增加，从而增加了吸附PCl3的活性位点，使其对PCl3的吸附性能显著提升。（剩余13383字）

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