电芬顿CMP抛光液中磨粒的分散性研究及中性环境下绿色抛光液的设计

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摘要 芬顿反应是一种能产生强氧化性羟基自由基（·OH）的绿色氧化反应，选用三聚磷酸钠（STPP）为外加电解质、金刚石为磨粒，比较STPP、NaCl和Na2SO4对芬顿反应中金刚石磨粒分散稳定性的影响，并研究该绿色抛光液在不同pH值下对电芬顿抛光液中金刚石磨粒的抗沉降能力、Zeta电位以及抛光液粒径的影响，并对GaN晶圆的抛光效果进行验证。（剩余16198字）

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