Si3N4陶瓷基底的交替多层金刚石薄膜摩擦学性能

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摘要 为避免Si3N4材料因摩擦磨损造成的失效，利用热丝化学气相沉积技术在Si3N4基底表面沉积单层和交替多层的金刚石薄膜，采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪对制备的金刚石薄膜的形核、薄膜质量、表面和截面形貌、表面粗糙度等进行表征；利用“球−盘”往复式摩擦磨损实验机测试金刚石薄膜的摩擦系数并计算其磨损率，分析不同结构薄膜的摩擦磨损性能。（剩余17643字）

试读结束

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