基于有限元法的超声辅助线锯单晶硅表面粗糙度影响规律

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doi：10.3969/j.issn.2097-3853.2024.03.014

摘要： 为研究超声振动辅助切割单晶硅对硅片的表面粗糙度的影响，利用ABAQUS软件建立单颗磨粒切割单晶硅的二维仿真模型，通过响应面法（RSM）分析仿真数据，获得单晶硅表面粗糙度与设定的线切割工艺参数之间的交互关系，研究单颗磨粒在不同工艺参数下对单晶硅表面粗糙度的影响。（剩余9741字）

试读结束

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