数字集成电路的失效分析与技术研究

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摘要：随着社会的不断发展，集成电路应运而生，并在人们的生产和生活中扮演着重要的角色，其集成度也从最初的小规模向中、大规模演进。在集成电路生产中，硅是主要的材料，过去很长一段时间里，以硅为基础生产的集成电路占集成电路总数的90%以上。以硅为生产材料不仅可以提高集成电路的成品率，还可以缩小光刻线宽，而且单晶硅在质量和尺寸上的工艺提升，还促进了集成电路在监控技术、测量技术、制造工艺、设计技术等方面的应用发展。（剩余5762字）

试读结束

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