一种环保型的MCV测试系统

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中图分类号：TN32文献标志码：A

LMCV测试系统与MCV测试设备相同，是研究半导体器件物理的重要设备，是极为重要的器件工艺过程监控和测试手段，也是器件和电路参数分析以及可靠性研究的有效工具。LMCV与MCV的不同之处是MCV（MercuryC-V）中使用的是汞探针，而LMCV采用的是无毒的液态金属探针，可以避免汞对人体健康、环境污染造成的危害。（剩余7811字）

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