注册帐号丨忘记密码？
1.点击网站首页右上角的“充值”按钮可以为您的帐号充值
2.可选择不同档位的充值金额，充值后按篇按本计费
3.充值成功后即可购买网站上的任意文章或杂志的电子版
4.购买后文章、杂志可在个人中心的订阅/零买找到
5.登陆后可阅读免费专区的精彩内容
打开文本图片集
摘 要：无掩膜数字光刻机已在PCB光刻及半导体光刻领域逐渐开始应用，相比传统掩膜式光刻机，可缩减光刻流程，节省光刻成本，使光刻数据在线实时调整变得更为简单。而DMD（数字微镜器件）目前作为数字光刻机常用的一种SLM（空间光调制）图形发生器，对其所需要进行的数据处理及控制较为关键。会直接关系到数字光刻机的曝光效率和产能。（剩余6785字）
登录龙源期刊网
购买文章
应用于数字光刻机的DMD数据处理及控制系统
文章价格：5.00元
当前余额：100.00
阅读
您目前是文章会员，阅读数共：0篇
剩余阅读数：0篇
阅读有效期：0001-1-1 0:00:00
