单输入多输出式压电微夹钳的结构设计与分析

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摘要：文章对现有压电微夹钳结构及位移输出特性进行分析，设计了一种单输入多输出式压电微夹钳。该单输入多输出式压电微夹钳具有结构简单、输出位移可选、振荡小、不易破坏操作对象等优点。文章详细介绍了该微夹钳的结构，并建立起了位移放大倍率模型；利用ANSYS仿真软件对所设计的微夹钳进行分析，仿真结果如下：z方向施加1×10-5mm位移后，钳指指尖顶端可分别产生3.2×10-5 mm和5.1×10-5 mm位移量；施加间隔为10V的驱动电压，得出其前6阶固有频率，仿真值与解析值具有较高的吻合度，验证了该压电微夹钳结构的可行性与所建数学模型的正确性。（剩余5641字）