锡掺杂对氧化锌纳米湿度传感器性能提升研究

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摘 要：笔者构建并研究了基于ZnO纳米结构的阻抗式湿度传感器。首先采用水热法合成了不同掺杂浓度的湿敏氧化锌纳米棒Zn1-xSnxO（x=0%，1%，3%，5%），然后通过介电泳操作将其在微加工叉指电极之间沉积。以纳米结构的氧化锌为传感元件，将处理后的样品作为阻抗传感器进行测试。通过检测氧化锌阻抗随湿度环境变化构建阻抗式湿度传感器。（剩余5512字）

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