激光烧蚀反应烧结碳化硅表面形貌特征及亚表面损伤研究

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摘 要：反应烧结碳化硅（RB-SiC/Si）因具有耐高温、耐腐蚀、比刚度高、热膨胀小、耐磨等优点而广泛应用于大口径空间望远镜、卫星遥感、航空发动机零部件等领域。然而高强度高硬度的材料特性，也导致反应烧结碳化硅呈现出难加工的特点。激光束加工具有能量密度高、加工范围广等特点，适用于加工硬脆材料，但同时也存在表面热损伤严重的缺点。（剩余14309字）

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