可编程逻辑控制器在半导体洁净厂房控制中的应用分析

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【关键词】PLC；半导体；应用；控制

引言

可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller，PLC）以其高可靠性、强大的数据处理能力和灵活的编程特性，在精确控制洁净厂房内温湿度、洁净度、正压差等关键参数的方面展现出了卓越的性能。本文旨在深入分析PLC在半导体洁净厂房控制中的运用，探讨如何通过软硬件集成与高效通信设计，满足半导体生产对高洁净度、高精度控制环境的严格要求，为半导体产业的持续发展提供有力支撑。（剩余4580字）

试读结束

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