研磨盘运动特性对氮化硅陶瓷球成形影响性分析

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关键词 氮化硅陶瓷球;柔性支承研磨;研磨盘偏摆;球直径变动量;批直径变动量
中图分类号 TG58; TG74 文献标志码 A
文章编号 1006-852X(2023)06-0750-10
DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0012
收稿日期 2023-01-29 修回日期 2023-04-08
氮化硅陶瓷具有低密度、高强度、耐磨损、耐腐蚀、低热膨胀系数、抗热震性、绝缘、无磁等极优良性能,是超精密仪器设备中高性能轴承滚动体的理想制造原材料,广泛应用于航空航天、精密机床、电子、石油、化工等多个领域[1-4]。(剩余7072字)