研磨盘运动特性对氮化硅陶瓷球成形影响性分析

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关键词 氮化硅陶瓷球；柔性支承研磨；研磨盘偏摆；球直径变动量；批直径变动量

中图分类号 TG58; TG74 文献标志码 A

文章编号 1006-852X（2023）06-0750-10

DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0012

收稿日期 2023-01-29 修回日期 2023-04-08

氮化硅陶瓷具有低密度、高强度、耐磨损、耐腐蚀、低热膨胀系数、抗热震性、绝缘、无磁等极优良性能，是超精密仪器设备中高性能轴承滚动体的理想制造原材料，广泛应用于航空航天、精密机床、电子、石油、化工等多个领域[1-4]。（剩余7072字）