多片式衬底HFCVD 系统沉积金刚石颗粒物理场的仿真优化

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关键词 热丝化学气相沉积法；FLUENT 仿真软件；优化模型；金刚石颗粒均匀生长

中图分类号 TQ164 文献标志码 A文章编号 1006-852X（2023）06-0735-08

DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0031

收稿日期 2023-02-20 修回日期 2023-03-19

金刚石微粉通常指粒度尺寸在0.1～54.0 μm 的金刚石颗粒，其主要用于工件表面的超精密光整加工−研磨及抛光工序中，也可直接制成研磨膏应用于玻璃、陶瓷、宝石等硬脆材料中[1-2]。（剩余4597字）