高温环境下具有高激光损伤阈值的SiO2薄膜研究

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摘要：二氧化硅作为最常用的低折射材料，兼具优良的耐热性，具有用于极端环境下高功率激光系统的潜力。试验采用溶胶-凝胶法，以正硅酸乙酯为前驱体，聚乙二醇为添加剂，制备二氧化硅薄膜。该方法制备的胶体具有良好的稳定性，内部结构分布均匀。薄膜具有高透过率，表面平整，在高温处理后仍然具有较小的表面粗糙度和低缺陷密度。（剩余13875字）

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