基于性能监测的聚合冷凝器结垢RUL预测

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摘 要 原子层沉积（ALD）设备被广泛应用于半导体、新材料、光伏产业中制备高质量纳米膜。针对制膜过程中关闭真空计，导致压强数据缺失，无法判断反应源是否通入及设备是否正常运行的问题，采用软测量方法预测制膜过程中的压强。为提高软测量对不同工艺条件及配方的预测泛化能力，提出采用基于滑动窗口的集成即时学习法（BaggingMwLWPLS）对压强进行实时建模及预测，使用滑动窗口划分数据集，采用Bagging集成算法将局部加权偏最小二乘法（LWPLS）的预测值平均融合作为预测压强。（剩余10300字）

试读结束

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