电子级氢氟酸研究进展
摘 要： 随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。
关 键 词：氢氟酸； 分类； 电子级
中图分类号：TQ124.3 文献标识码： A 文章编号： 1004-0935（2023）08-1217-03
2021年3月13日，《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》（以下简称《纲要》）发布，《纲要》中提到，加快智能制造、高端芯片等领域关键核心技术突破和应用。（剩余5688字）