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中图分类号：TH122 DOI：10.16578/j.issn.1004.2539.2026.01.016
0 引言
随着科技的快速发展，微纳米技术在多个领域中得到广泛应用，如半导体制造、生命科学和材料研究等[1-2]。这些领域对微米或纳米级位移的精确控制需求日益增长，因此，微位移平台的研究与开发成为一个重要课题。（剩余10937字）
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