搬运机器人运动规划与硅片校准技术研究

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关键词：集成电路；搬运机器人；运动控制；硅片校准算法

中图分类号：TQ264.1；TP242 文献标志码：A 文章编号：1001-5922（2024）12-0102-04

随着全球半导体行业的兴起，半导体机器人在国内外市场的需求不断扩大[1-2]。然而，国际市场上半导体机器人主要由国外公司垄断[3-6]。（剩余2698字）

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