荷能离子作用对氧化铝颗粒表面类金刚石薄膜生长特性的影响

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摘要：为掌握表面改性氧化铝颗粒的过程中颗粒表面类金刚石薄膜形貌的调控方法，基于空心阴极放电等离子体表面沉积系统，研究了不同形式的外施电压作用下，生长在氧化铝颗粒表面的类金刚石膜层的形貌特征及不同膜层形貌的形成机制。通过对在不同条件下沉积的类金刚石膜层的形貌观测发现，直流电压作用下，膜层会完全保留颗粒的本征形貌特征；脉冲电压作用下，膜层表面存在大量岛状凸起结构，并基于膜层的生长模式和荷能离子与基底发生的相互作用分析了膜层会出现上述两种形貌的原因。（剩余24678字）

试读结束

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