基于宽禁带半导体材料氮化镓的原子力显微镜分析

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基金项目：国家重点研发计划；项目编号：2022YFB3404304。

作者简介：王亚伟（1988—），男，工程师，硕士；研究方向：半导体材料外延及表征。

摘要：微波功率器件在无线通信技术领域扮演着重要角色，而宽禁带半导体材料对微波功率器件的研究起着关键作用。氮化镓作为宽禁带半导体的代表，具有介电常数小、载流子饱和速率高、热导率高等优良特性。（剩余3048字）

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