多孔GaN/Ga2O3 异质结双波段紫外光探测器的制备及性能研究

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摘要：以NaNO3 溶液作为刻蚀溶液、使用紫外辅助电化学方法刻蚀的多孔GaN 作为衬底，使用射频磁控溅射法在GaN 衬底上沉积Ga2O3 并退火处理，制备了含多孔GaN/β-Ga2O3 异质结的高响应度紫外光探测器。该探测器能够实现对短波紫外光和长波紫外光的灵敏探测，双波段探测性能可通过调节电压实现。（剩余6906字）

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