提高金属氧化物半导体气体传感器抗湿稳定性的方法研究

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摘要：测试环境中的水汽会干扰金属氧化物半导体气敏材料的气敏反应，导致基线电阻漂移、响应灵敏度降低等问题，从而显著影响传感器对目标气体的检测。对水汽干扰气体传感器气敏反应的机制进行了简要阐述，重点对当前抗湿检测的思路进行了归纳总结。当前较为广泛开发的抗湿检测思路包括筛滤作用、捕水作用、传感器表面调控3 大类，不同抗湿思路的组合可实现金属氧化物半导体气敏材料抗湿维稳和响应性能的同步提升。（剩余9198字）

试读结束

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