基于氮化铝薄膜的二维模态谐振器双模结构设计与仿真

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摘要：基于氮化铝（aluminum nitride，AlN）压电薄膜的二维模态谐振器（two-dimensional-mode resonators，2DMR）由于其较高的有效机电耦合系数k及其与集成电路工艺兼容等优势，引起了业内广泛的关注。然而，传统的2DMR只研究单谐振模态，难以满足多模无线通信系统的需求。（剩余14338字）

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