复杂曲面光学元件高精度面形检测技术概述

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摘要：复杂曲面光学元件应用于光学系统中可以增大系统设计自由度，同时减少系统所需元件数量，有利于实现光学系统的紧凑化、轻量化，被誉为现代光学系统的变革性元件，被广泛应用于空间光学、光刻系统、汽车照明等领域，极大推动了航天、国防及高科技民用事业的发展。然而，复杂曲面光学元件对面形精度要求较高，如何对其面形进行高精度检测从而指导加工成为限制该类元件大范围应用的瓶颈。（剩余63181字）

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