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［关键词］集成电路，制备装置，关键技术
［中图分类号］TN41 ［文献标志码］A ［文章编号］2095–6487（2024）10–0070–03
集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的基础性、战略性产业。集成电路板是集成电路的重要一环，为促进集成电路产业发展，对集成电路板制备装置及关键技术展开研究。（剩余4557字）
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集成电路板制备装置及关键技术研究
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