区熔多晶硅高压启动系统设计

  • 打印
  • 收藏
收藏成功
微博 QQ空间 微信


打开文本图片集

0 引言

半导体行业的主要原材料是电子级多晶硅，它是半导体器件、集成电路、大功率电力电子器件的基础性材料，尤其是区熔级多晶硅，区熔级多晶硅属于电子级多晶硅细分产品，它的生产技术壁垒较高，海外企业占据全球市场主导地位，主要供应商为德国瓦克集团和挪威RECSilicon公司。区熔多晶硅的生产工艺主要是采用改良西门子法，即在化学气相沉积（CVD）反应器内用氢气还原三氯氢硅或硅烷气加热分解而得到。（剩余3042字）

试读结束

目录
monitor