激光诱导SiC 表面周期性结构特性及其时空成像研究

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关键词：飞秒激光；泵浦−探测；时空成像；激光诱导表面周期性结构

中图分类号：TN 249 文献标志码：A

引言

飞秒激光凭借其极短的脉冲宽度和极高的峰值功率等特点在材料微纳加工方面有着独特的优势，可以对金属、半导体以及介质等几乎任何材料的表面或内部实现微/纳米级的精细加工。近年来，飞秒激光诱导表面纳米结构技术迅速发展成为一种强大、灵活的功能化表面制造技术，其中激光诱导周期表面结构（laser induced periodic surface structures，LIPSS）技术[1]因其在金属[2-3]、半导体[4-5]、陶瓷[6]、聚合物[7]等不同材料表面均可形成周期性结构而得到广泛关注。（剩余5572字）