二氧化硅平面波导集成光开关器件研究

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摘要：基于二氧化硅平面光波导平台，设计并制作了一种多模干涉马赫曾德型的低功耗热光开关。该器件结合了多模干涉耦合器的稳定性及二氧化硅波导和热光开关的低损耗等优势。经仿真，对器件参数进行了优化，并讨论了金属层与波导的间距对传输光强及功耗的影响。测试结果表明，该器件的结构稳定，偏振依赖小，插入损耗低于2dB，能实现开关的转换，功耗为450mW 左右，开关响应时间为103µs 和113µs，在1564nm 工作波长下消光比超过16dB，尺寸为2.30cm×0.25mm。（剩余11821字）

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