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关键词:散射式扫描近场光学显微镜;亚表面检测;太赫兹成像
中图分类号:O 433 文献标志码:A
引言
散射式扫描近场光学显微技术(scatteringtypescanning near-field optical microscopy, s-SNOM)常用于半导体材料和器件中微纳结构、载流子、缺陷分布相关的显微检测和表征,在现代电子和光子学研究中具有重要意义,推动了半导体表面检测和载流子分布的研究[1]。(剩余4813字)
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太赫兹近场光学亚表面检测技术研究
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