基于正弦相位调制的光纤干涉位移测量系统研究
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关键词：光纤干涉仪；正弦相位调制；卡尔曼滤波；位移测量
中图分类号：TN 253 文献标志码：A
引言
在现代加工制造业中，精密的位移测量技术越来越重要。激光干涉测量法因具有可追溯、非接触、高精度、高灵敏度等优点，在航空航天、医学、半导体加工等智能制造领域得到了广泛应用[1-4]。光纤激光干涉仪将光纤结构和激光干涉相结合，相较于传统的空间光干涉仪，其结构紧凑灵活，环境适应能力强，光路易于调节，已经成为当前位移测量领域的研究热点之一[5]。（剩余3450字）