用于 MEMS 振镜激光扫描的显微物镜设计

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摘要：为满足微机电系统（micro-electro-mechanical system ，MEMS）二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求，利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为1.1 mm，可匹配 MEMS 二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜。该物镜总长小于23 mm，数值孔径为0.4，分辨率为1.26µm，工作距为900µm，各项像差校正良好，满足使用需求。（剩余7649字）

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