基于波像差理论的实数编码遗传算法优化XUV 光学系统

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摘要：由镜和光栅组成的 XUV 光学系统具有平面对称的性质，结合 Lu平面对称光栅系统的波像差理论和均方根像差评价函数得到用以优化 XUV 光学系统的多参量目标函数。为求解该多自变量且大取值区间的目标函数，提出了一种基于十进制的实数编码遗传算法，并将其用于两种 XUV 光学系统的优化求值。将求得的优化值用光学仿真软件 Shadow进行追迹，并和参考文献进行对比。（剩余12024字）

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