倾斜入射下的单截面平面度绝对检验

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关键词：光学计量;倾斜入射;平面度;绝对检验;二次反射棱镜

引言

平面度是光学干涉计量领域中基础的测量标准，国家规程规定以两个截面上的直线度量值计算平面度，因此直线度也是国家量值传递体系中重要的一环[1]。传统情况下使用等倾干涉仪测量标准平晶、长平晶、平面平晶的平面度误差，其原因为等倾干涉仪可以通过干涉条纹精确地测量多点的高程差[2-4]。（剩余3104字）

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