化学气相沉积

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学科：机械工程

化学气相沉积是一种用化学方法使气体在基体材料表面发生化学反应并形成覆盖层的方法。该技术在多个前沿高精尖技术领域有着广泛的应用：合成多种半导体材料，用于微电子器件的制备和集成电路的制造；制备不同力学、化学性质的涂层，应用于光学涂层、耐磨涂层、防腐涂层等领域；制备如金刚石薄膜、石墨烯薄膜、高温超导薄膜等新兴材料。（剩余0字）

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