基于PGA900的薄膜微压传感器研究

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摘 要：本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器，充分发挥溅射薄膜技术优势，通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题。使用PGA900信号调理器对薄膜微压传感器进行信号调理，通过内置算法实现传感器温度补偿和性能优化。经过试验验证，传感器的性能稳定、输出特性良好，达到了同类产品的较高水平。

關键词：PGA900；微压传感器；溅射薄膜；信号调理

微压传感器是一种压力传感器，可测量微小压力，广泛应用于工业控制、石油管道、水利水电、航空航天等行业[1-2]。（剩余4241字）

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