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一、MEMS概述
MEMS实际上是微型机械电子系统的英文缩写 (Micro Electromechanical System),通常是一系列尺寸 在毫米级别甚至以下的电子机械装置,其内部涉及的结构通 常在微米甚至是纳米级别,是利用微型电子技术构建尽可 能小的智能系统。其生产加工通常是基于传统加工半导体 元器件的光蚀刻等工艺,结合超高精密机械加工技术。(剩余4840字)
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微型机械电子系统(MEMS)行业竞争格局与发展趋势 分析
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