微型机械电子系统(MEMS)行业竞争格局与发展趋势 分析

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一、MEMS概述

MEMS实际上是微型机械电子系统的英文缩写 （Micro Electromechanical System），通常是一系列尺寸 在毫米级别甚至以下的电子机械装置，其内部涉及的结构通 常在微米甚至是纳米级别，是利用微型电子技术构建尽可 能小的智能系统。其生产加工通常是基于传统加工半导体 元器件的光蚀刻等工艺，结合超高精密机械加工技术。（剩余4840字）

试读结束

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