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DOI：10.19912/j.0254-0096.tynxb.2021-0789 文章编号：0254-0096（2023）01-0001-07
摘 要：利用CGSim软件对定向凝固多晶硅从长晶过程开始到退火过程结束进行瞬态数值模拟，研究不同退火温度和退火时间对多晶硅锭内热应力及位错密度的影响。（剩余12092字）
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退火过程对硅锭热应力与位错影响的数值分析
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